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解讀雙級旋片真空泵的工作原理

  雙級旋片真空泵由兩個工作室組成│☁✘☁。前級泵是低真空級✘✘,後級泵是高真空級✘✘,被抽氣體經後級進入前級✘✘,由排氣閥排出泵外│☁✘☁。前▩·•│、後兩級稍有不同•₪✘✘:
  後級的泵腔(缸)比前級大✘✘,前級和單極泵一樣✘✘,隨時有油進入泵腔✘✘,而後級僅在開始工作時存有少量的油✘✘,工作一段時間後✘✘,便沒有油進入泵腔了│☁✘☁。後級工作時✘✘,一部分氣體從後排氣閥直接排到大氣中去✘✘,一部分氣體經由前級泵排到大氣中去;工作一段時間後✘✘,後級泵裡的氣體經過壓縮後✘✘,壓強達不到一個大氣壓以上✘✘,推不開後排氣閥✘✘,這些氣體就從前級排出去│☁✘☁。
  抽氣時間一長✘✘,後級泵進氣口的壓強大大下降✘✘,泵的出口壓強也很小✘✘,進出口的壓強差也就小✘✘,被壓縮氣體返回的數量相應減少多同時✘✘,後級泵中易蒸發的油分子不斷被前級泵抽走✘✘,油蒸氣的分壓強因而就減小了│☁✘☁。這樣可以提高泵的極限真空度✘✘,而油汙染也比單級泵小│☁✘☁。
  一室和五室旋片的安裝位置是互相垂直的│☁✘☁。因此✘✘,要讓一級排氣時二級正好是抽氣✘✘,使它們能同步地工作│☁✘☁。
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2022/06/11 09:53:55 302 次

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