真空系統出廠時已經包括了抽速控制│╃•、進氣過濾│╃•、主要執行資料顯示│╃•、執行保護及遠端控制介面等☁↟•·▩。只要在現場進行簡單的連線電源和管道│◕•，就可以組成一個完整的真空系統☁↟•·▩。該真空系統的控制系統由PLC控制系統經過程式設計後組成│◕•，以觸控式螢幕為人機介面│◕•，實現對真空系統│╃•、工件行走│╃•、磁控靶│╃•、工藝設定和執行│╃•、報警保護系統等的全自動化控制☁↟•·▩。
　　1.在被抽器件或工作中房間內得到需要的真空泵和工作中真空度☁↟•·▩。
　　真空度就是指器件在無漏放氣時所做到的真空度│◕•，工作中真空度就是指在器件開展真空泵解決時能夠保持的真空度☁↟•·▩。真空泵解決時通常要釋放很多汽體│◕•，這時候的工作中真空度將明顯地小於真空度☁↟•·▩。
　　2.為獲得某一工作中真空度需要的時間
　　這時間取決於真空系統抽速的尺寸☁↟•·▩。提升抽速可減少這一時間☁↟•·▩。大的個人工作室顯而易見要大的抽速☁↟•·▩。有時候個人工作室儘管並不大│◕•，但因為漏放氣比較嚴重│◕•，則真空系統也要大的抽速│◕•，不然很多的漏放氣將大幅度降低真空度│◕•，使系統軟體沒法工作中☁↟•·▩。
　　3.在被抽器件或工作中房間內有適合的殘氣成份
　　單純性提升和保障真空度及工作中真空度是不夠的│◕•，還解決殘留汽體成分有規定☁↟•·▩。比如真空泵拍攝器件│◕•，規定器件內的殘留汽體的氧氣含量應不高於10-2Pa耐髙壓的真空開關管中│◕•，應不帶有氮氧化合物分子結構這些☁↟•·▩。真空系統的殘氣成分│◕•，如系統軟體中無其他氣動閥門│◕•，則關鍵在於泵的特點☁↟•·▩。